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ZQ-PS系列微流量電解水制氫超純氫氣純化設(shè)備，滿足每個超純氫應(yīng)用場景的需求，始終確保高度的易用性和氣體純度。 采用國際一流的膜分離技術(shù)，無需任何外部凈化或壓縮體系為超純氫使用設(shè)備提供安全、穩(wěn)定和低成本的超純氫解決方案。

核心產(chǎn)品：半導(dǎo)體領(lǐng)域的氫氣純化設(shè)備—9N級超純。 采用自主研發(fā)的金屬膜材料，開發(fā)了9N級超純氫氣純化設(shè)備，匹配CVD制備GaAs、InP、GaN、SiC基半導(dǎo)體，具有9N級超純、高穩(wěn)定、長壽命、易維護(hù)等優(yōu)勢。 對標(biāo)意大利SAES、日本JPC、英國Johnson Matthey等鈀膜氫氣純化設(shè)備，國產(chǎn)替代進(jìn)口，填補空白，解決高端半導(dǎo)體制備的卡脖子難題。 20-120 Nm3/h系列化標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。

與傳統(tǒng)吸附劑氫氣純化技術(shù)相比，金屬膜氫氣純化具有氫氣純度更高、露點更低，對原料氫氣的純度要求更低等優(yōu)勢。與傳統(tǒng)“魚雷車供氫+吸附劑氫氣純化”路線相比，“電解水制氫+膜分離氫氣純化”路線，可以大幅度降低LED/LCD等半導(dǎo)體領(lǐng)域超純氫的供給成本。

ZQ-HM系列高流量超純氫氣純化器針對電解水制氫和瓶裝粗氫等多種來源的含氫原料氣，實現(xiàn)全自動化超純氫制備，能夠充分發(fā)揮膜純化方式的經(jīng)濟、高效和穩(wěn)定等優(yōu)勢，性能達(dá)到國際領(lǐng)先水平

在半導(dǎo)體、氯堿、合成氨等領(lǐng)域的工業(yè)生產(chǎn)過程中有大量的副產(chǎn)氫氣可回收。采自主研發(fā)的特種金屬膜，開發(fā)了ZQ-HPE-TGHR系列設(shè)備，可以實現(xiàn)氫氣的原位在線回收、純化和循環(huán)再利用等；設(shè)備占地面積小，與原有設(shè)備的匹配性強、兼容性高。

針對天然氣重整制氫溫度高、流程長、轉(zhuǎn)化率相對較低以及粗氫組分復(fù)雜等特點，采用自主研發(fā)的特種金屬膜，開發(fā)了ZQ-HPE-NGR系列氫氣純化設(shè)備，與天然氣重整制氫設(shè)備匹配性高、適應(yīng)性強。高溫、高壓粗氫直接通入膜純化器，抗CO中毒，耐高含量水蒸氣，氫氣純化效率高、氫回收率高、穩(wěn)定性高。

針對氨裂解制氫系統(tǒng)壓力低、溫度高的特點，采用自主研發(fā)的特種金屬膜，開發(fā)了ZQ-HPE-AC系列氫氣純化設(shè)備，與氨裂解制氫設(shè)備匹配性高、適應(yīng)性強。低壓、高溫氨裂解粗氫直接通入膜純化器，無需殘氨預(yù)處理(金屬膜耐高含量殘氨)，熱利用率高，氫氣純化效率高，氫回收率高，穩(wěn)定性高。

與傳統(tǒng)吸附劑氫氣純化技術(shù)相比，金屬膜氫氣純化具有氫氣純度更高、露點更低，對原料氫氣的純度要求更低等優(yōu)勢。與傳統(tǒng)“魚雷車供氫+吸附劑氫氣純化”路線相比，“電解水制氫+膜分離氫氣純化”路線，可以大幅度降低LED/LCD等半導(dǎo)體領(lǐng)域超純氫的供給成本。

ZQ-MPI系列甲醇重整制氫純化器是針對甲醇重整制氫特點開發(fā)的純化設(shè)備。該設(shè)備基于膜分離技術(shù)對重整氣進(jìn)行氫氣分離和純化，可滿足多工況下甲醇重整制氫純化需求，并為用氫端穩(wěn)定提供高純氫。

甲醇重整制氫受溫度、催化劑、醇水比等影響，得到的粗氫組分復(fù)雜、差異大，含有CO2、CO、H2O、CH4等多種雜質(zhì)，尤其CO含量高，采用變壓吸附(PSA)等純化方法無法將CO降低到質(zhì)子膜燃料電池使用要求的0.2 ppm以下。中氫新能源自主研發(fā)的特種金屬膜，抗CO中毒，耐高含量水蒸氣，氫回收率高；開發(fā)的ZQ-HPE-MSR系列，與甲醇重整制氫工藝匹配性高、兼容性強。

ZQ-API系列氨裂解制氫純化器是針對氨裂解制氫低壓高溫特點開發(fā)的純化設(shè)備。該設(shè)備基于膜分離技術(shù)對粗氫進(jìn)行氣分離和純化，可滿足不同工況下氨裂解制氫純化需求，并為用氫端穩(wěn)定提供高純氫。